新型压电薄膜及高灵敏声波传感器研究及应用-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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新型压电薄膜及高灵敏声波传感器研究及应用

项目名称：新型压电薄膜及高灵敏声波传感器研究及应用
项目类别：面上项目
批准号：11174142
申请代码：A040503
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2012-01-01-2015-12-31

项目负责人：张淑仪
负责人职称：教授
依托单位：南京大学
批准年度：2011

中文摘要：

由于微型器件的发展和应用，发展压电薄膜和微型声学器件引起很大重视，本项目主要从事两方面工作 I．研制新型压电薄膜制备高质量压电薄膜是研制微型声学器件非常关键的工作，本研究主要分几个步骤1.从材料科学角度设计新型薄膜组份，在已有的压电材料中掺入不同元素以提高其性能；2.改进晶体结构，研制单晶压电薄膜，使薄膜换能效率提高，且是损耗减小。 II．研制高灵敏声波传感器由于声波传感器稳定度高、体积小、易于小批量生产和成本低而受到广泛重视，但是检测灵敏度还有待进一步改进和提高。主要研究以下内容1.建立声波在多层材料中传播的理论模型，为具体设计和优化传感器提供理论指导和依据；2.设计和制作高频、微型电声换能器结构，有效激发和接收声波能量，并使器件高效、小型化；3.选择适当导波层和敏感层材料及优化沉积技术，以求达到高灵敏地反映被检测物质对声传播的影响，提高灵敏度；4.开拓传感器在不同领域的应用。

中文主题词：压电薄膜；表面声波；声学器件；传感器；声传播理论

英文摘要：

Piezoelectric film；surface acoustic wave；acoustic device；sensor；acoustic propagation theory

英文主题词： Piezoelectric film；surface acoustic wave；acoustic device；sensor；acoustic propagation theory

结论摘要：

本项目主要从事两方面工作 I．研制新型压电薄膜1.研制纳米柱薄膜，提高薄膜的声学及传感性能；2. 改进薄膜晶体结构，使薄膜换能效率提高，且是损耗减小；3. 从材料科学角度设计新型薄膜组份，并在压电薄膜材料中掺入不同元素以提高其性能。 II．研制高灵敏声波传感器 1. 选择适当导波层和敏感层材料，并优化沉积技术，以求达到高灵敏地反映被检测物质对声传播的影响，提高灵敏度；2. 研制不同模式的声波传感器，开拓传感器在不同领域的应用；3. 建立声波在多层材料中传播的理论模型，为具体设计和优化表面声波传感器提供理论指导和依据。

成果综合统计