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中文摘要：
有机电致发光（OLED）硅基微显示是在硅片上制作具有上百万像素的顶发射OLED（TOLED）的微显示器件。适用于头头盔显示器，立体显示镜，眼睛式显示器等应用。本项目 在TOLED方面1）. 采用金属铝为反射电极的绿光TOLED器件最高亮度为96940 cd/m2；最大电流效率为28.65cd/A。2）用MoOx作为空穴注入层和C60作为盖帽层提高了效率和稳定性。3）研制成功了倒置结构，Si和Cu基板的TOLED器件。4）发现用一般的流片工艺的Al电极表面很粗糙无法制备TOLED。在Si芯片方面5）通过最佳随机权值灰度控制及带锁存功能的恒流驱动结构来大幅度提高灰度等级和驱动能力。6）在设计行列扫描驱动电路时，利用分组组合成为12x8个个块（Block），来改善灰度输入。7）提出了植入递推扫描灰度控制的理论方法，使FPD灰度等级、帧频、传输效率及线性度等参数有了巨大提升.8)用1.2微米的工艺设计和流片得到相应的IC芯片.9）对该芯片进行性能的测试达到设计的要求.10） 用130纳米的工艺流片及Al抛光技术基本解决了Al的平整度问题，在该芯片上制备了TOLED得到了可控的图形显示效果。
结论摘要：
英文主题词OLED Micro-display on Si, Top emission of OLED, Micro-display on Si, OLED, Micro-display
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