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氮化铌作为隔离层的铜铌溅射超导腔的研究
  • 项目名称：氮化铌作为隔离层的铜铌溅射超导腔的研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：10175006
  • 申请代码：A050502
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2002-01-01-2005-12-01
  • 项目负责人：谢大韬
  • 负责人职称：副教授
  • 依托单位：北京大学
  • 批准年度：2001
中文摘要：

铜铌溅射射频超导腔是当前国际上的研究热点。但其射频超导性能因无氧铜基底的热扩散和静态扩散而变差。本课题提出在铌膜与无氧铜基底间制备一层致密的、热导性好的超导氮化铌隔离层，并进行实验研究和机理分析。解决国际上存在的铜铌射频超导Q值递减的问题，源锏教岣逳b膜的射频超导性能的目的。

中文主题词： 铜铌溅射腔；氮化铌；隔离层
结论摘要：

英文主题词Niobium sputter-coated copper cavities; NbN; Barrier layer

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
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会议论文
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