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　基于SuperLens的纳米光刻技术
  • 项目名称：　基于SuperLens的纳米光刻技术
  • 批准号：2006AA04Z310
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：罗先刚
  • 依托单位：中国科学院光电技术研究所
  • 批准年度：2006
罗先刚的项目
　表面等离子体超分辨成像光刻基础研究
期刊论文 2
基于表面等离激元的无掩模并行纳米直写技术研究
期刊论文 7
基于电磁波超衍射极限的远场成像光刻研究
期刊论文 33 专利 12
表面等离子体光学光刻原理和方法研究
期刊论文 18 会议论文 6
　波的衍射极限关键科学问题研究
期刊论文 18