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　表面等离子体超分辨成像光刻基础研究
  • 项目名称：　表面等离子体超分辨成像光刻基础研究
  • 批准号：2011CB301800
  • 项目来源：2010年度国家重点基础研究发展计划（973计划）、国家重大科学研究计划项目
  • 研究期限：2010-10-
  • 项目负责人：罗先刚
  • 依托单位：中国科学院光电技术研究所
  • 批准年度：2010
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
基于多层膜结构的亚波长光栅研究
级联槽型腔表面等离子体滤波器
罗先刚的项目
　基于SuperLens的纳米光刻技术
基于表面等离激元的无掩模并行纳米直写技术研究
期刊论文 7
基于电磁波超衍射极限的远场成像光刻研究
期刊论文 33 专利 12
表面等离子体光学光刻原理和方法研究
期刊论文 18 会议论文 6
　波的衍射极限关键科学问题研究
期刊论文 18