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基于表面等离激元的无掩模并行纳米直写技术研究
  • 项目名称：基于表面等离激元的无掩模并行纳米直写技术研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：61138002
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：罗先刚
  • 依托单位：中国科学院光电技术研究所
  • 批准年度：2011
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 7
  • 0
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期刊论文
基于石墨烯结合亚波长金属结构的太赫兹宽带动态吸收器
增强型局域表面等离子体共振纳米直写光刻
双层SRR可动悬臂阵列太赫兹动态滤波器
一种金属亚波长缝槽结构的高方向性辐射研究
电磁超构材料色散调控研究进展
Plasmonic lithography with 100nm overlay accuracy
Subwavelength electromagnetics
罗先刚的项目
基于电磁波超衍射极限的远场成像光刻研究
期刊论文 33 专利 12
　基于SuperLens的纳米光刻技术
　表面等离子体超分辨成像光刻基础研究
期刊论文 2
表面等离子体光学光刻原理和方法研究
期刊论文 18 会议论文 6
　波的衍射极限关键科学问题研究
期刊论文 18