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微球体表面缺陷超精密修饰加工机理及相关技术基础
项目名称:微球体表面缺陷超精密修饰加工机理及相关技术基础
项目类别:面上项目
批准号:50275039
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:孙涛
依托单位:哈尔滨工业大学
批准年度:2002
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
2
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0
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期刊论文
利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构
Si表面规则纳米结构AFM阳极氧化研究
孙涛的项目
金刚石加工过程建模及光滑表面的形成机理研究
非球镜面超精密检测理论与实验方法
期刊论文 3
会议论文 4
基于AFM金刚石微探针的纳米加工机理研究
期刊论文 23
会议论文 5
专利 2
动压马达边界润滑作用机理与可控成膜装配工艺技术研究
期刊论文 1