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新型多功能斯托克斯-穆勒成像偏振仪
  • 项目名称：新型多功能斯托克斯-穆勒成像偏振仪
  • 项目类别：国家重大科研仪器研制项目
  • 批准号：11627808
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：李艳秋
  • 依托单位：北京理工大学
  • 批准年度：2016
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
组合倍率极紫外光刻物镜梯度膜设计
李艳秋的项目
高数值孔径（NA>1）浸没光刻成像中偏振效应研究
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