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兆声调控电铸微结构内应力与均匀性的机理及方法
项目名称:兆声调控电铸微结构内应力与均匀性的机理及方法
项目类别:面上项目
批准号:51375077
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:杜立群
依托单位:大连理工大学
批准年度:2013
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
3
0
0
0
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期刊论文
基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制
基于电化学刻蚀与微电铸工艺的微流控芯片模具制作
Ni-SiC复合电铸层内应力实验研究
杜立群的项目
活化与细密的微电铸层界面结合理论与控制方法
期刊论文 16
会议论文 5
专利 3
微制造中有机高聚物超声时效理论与方法研究
期刊论文 23
会议论文 3
专利 4