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中文摘要：
本项目完成的主要研究工作及取得的主要成果如下（1）采用生物学解剖与SEM电镜实验，研究蜘蛛的振动感觉器官及振动感知机理；（2）仿生蜘蛛缝感觉器，研究基于孔缝的应力集中效应，完成仿生压阻式孔缝微悬臂梁传感器的设计与理论建模分析；（3）针对传统压阻式硅微加速度计的缺点，提出并完成新型仿生硅微加速度传感器的设计与建模分析；（4）提出基于Pareto优化的仿生硅微加速度传感器的综合优化设计方法，系统分析结构、工艺、工作等参数对器件性能的影响，有效提高设计目标的性能和工作效率；（5）采用微机械加工技术，完成仿生硅微加速度传感器的制版与工艺流程设计，并针对器件结构特点，完成圆片级封装技术研究；（6）搭建硅微加速度传感器测试标定系统，完成器件动态特性如线性度、灵敏度、频响特性等实验研究，结果表明研制的仿生硅微加速度传感器具有较高的性能；（7）研究蜘蛛快速振源定位技术的理论建模和数值分析。本项目研究将对MEMS器件设计、生物感觉器官的仿生传感技术等具有重要的理论指导和实际应用价值。项目共培养研究生5名；发表论文8篇，其中EI检索2篇，会议4篇，投稿中2篇；已申请授权发明专利3项，实用新型专利1项。
结论摘要：
英文主题词Spider; Biomimetic; Accelerometer; MEMS; Vibration source orientation
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