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碳化硅缓冲层上生长氮花稼的电子显微学研究
  • 项目名称:碳化硅缓冲层上生长氮花稼的电子显微学研究
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:50072044
  • 申请代码:E020401
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2001-01-01-2003-12-01
  • 项目负责人:段晓峰
  • 负责人职称:研究员
  • 依托单位:中国科学院物理研究所
  • 批准年度:2000
中文摘要:

CaN有重要的应用前景,以SiC作为缓冲层是Si上生长GaN的新方法.要得到高质量的GaN,需許i/SiC/GaN界面及缺陷结构进行系统的分析研究。场发射电子枪透射电镜具有亮度高,咝〉挠诺悖啥匝分械慕缑妗⑷毕莸任⑿∏蚪械缱幽芰克鹗住⒏叻直娴缱酉晕⑹酢⒒峋凼缱友苌浞治觯剿魅毕莶跋嗷プ饔玫幕恚欢嫌呕ぬ跫

结论摘要:

英文主题词GaN,semiconductors, transmission electron microscopy


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