CaN有重要的应用前景,以SiC作为缓冲层是Si上生长GaN的新方法.要得到高质量的GaN,需許i/SiC/GaN界面及缺陷结构进行系统的分析研究。场发射电子枪透射电镜具有亮度高,咝〉挠诺悖啥匝分械慕缑妗⑷毕莸任⑿∏蚪械缱幽芰克鹗住⒏叻直娴缱酉晕⑹酢⒒峋凼缱友苌浞治觯剿魅毕莶跋嗷プ饔玫幕恚欢嫌呕ぬ跫
英文主题词GaN,semiconductors, transmission electron microscopy