中文摘要：

项目研究中提出了超高能量密度Power MEMS准气体动力循环（Quasi Gas Power Cycle）的创新理论观点，突破了Power MEMS研究领域广泛盛行的"Scale Down"技术思想和路线的束缚，奠定了实现中介尺度Power MEMS超高能量密度的重要理论基础；提出了Power MEMS准循环发动机的发明，该Power MEMS构件采用准气体动力循环，输出循环净功将得到大幅提高，而且由于减少压缩热力过程，系统构成得到进一步的简化；在此基础上，提出了Power MEMS碳化硅材料微细机加工工艺研究，为准气体动力循环超高能量密度Power MEMS器件的制造提供了新的技术途径。所取得的成果可以满足航空航天、通信、生物医学、国防等领域对超高能量密度微型能源动力系统的紧迫要求。