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　基于激光微熔覆的MEMS集成制造技术研究
  • 项目名称：　基于激光微熔覆的MEMS集成制造技术研究
  • 批准号：2006AA04Z313
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：胡乾午
  • 依托单位：华中科技大学
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 3
  • 0
  • 0
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期刊论文
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