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微型笔直写技术制备厚膜温度传感器阵列研究
  • 期刊名称:电子元件与材料, 2008,9(27), 18-22
  • 时间:0
  • 分类:TM24[电气工程—电工理论与新技术;一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构:[1]华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室(筹)激光部,湖北武汉430074
  • 相关基金:国家“863”计划资助项目(No.2006AA04Z313);国家自然科学基金资助项目(No.50575086)
  • 相关项目:激光微细熔覆快速制造厚膜无源器件的研究
中文摘要:

利用微型笔直写技术,在Al2O3陶瓷基板上制备了4×4厚膜PTC热敏电阻温度传感器阵列。研究了驱动气压、笔嘴直径以及直写速度等对厚膜PTC热敏电阻线宽的影响,分析了微型笔直写PTC热敏电阻温度传感器的形成机理。目前微型笔在Al2O3陶瓷基板上直写的厚膜PTC热敏电阻线宽为130-400μm。高温烧结后其电阻温度系数啄为1620×10^-6/℃,在25~95℃之间电阻阻值随温度的变化具有良好的线性。

英文摘要:

4×4 thick-film PTC thermistor temperature sensor array on Al2O3 ceramic substrate was prepared using micropen direct-writing technique. The effects of driving gas pressure, the diameter of nozzle, and direct writing speed on thick-film PTC thermistor line width were studied systematically. And the mechanism of PTC thermistor temperature sensor formation was analyzed. Now, the line width of thick-film PTC thermistor on Al2O3 ceramic substrate by micropen direct writing is 130-400μm. After sintering of high temperature, its αR is 1 620×10^-6/ ℃, and the dependence of resistance versus temperature between 25 ℃ and 95 ℃ is good linearity.

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