中文摘要：

近年来，随着大屏幕高清晰度电视（HDTV）的市场需求剧增，国外对HDTV核心部件的研究迅速发展。其中，以微光机电系统（MOEMS）技术制造的数字式微反射镜器件（DMD）及光栅光阀（GLV）已取得了巨大的商业效益，并侵吞着中国显示器市场。为克服DMD工艺复杂以及GLV有效衍射面积低、难以集成面阵的缺点，我们发明了一种光栅式光调制器。它具有MOEMS调制器的优点出光效率很高，清晰度高，调制速度快，灰

结论摘要：

本项目主要完成了基于MOEMS悬臂梁式光栅光调制器、基于MOEMS反射镜平动式光栅光调制器、基于MOEMS光栅平动式光调制器的结构设计、光学、电力学理论分析、仿真和实验。利用标量衍射理论，分析了反射镜平动式光栅光调制器的光学原理。提出了光栅平动式光调制器的基本结构，GMLM主要依靠可动光栅和下反射镜之间的间距变化来实现光调制作用；建立了相应的光学模型，并利用标量衍射理论进行了器件单象素和面阵结构的光学原理分析，理论分析与CoventorWare仿真结果一致；重点讨论了光栅平动式光调制器的几何参数、可动光栅和下反射面间距、加工误差等对对比度的影响。确定了GMLM的加工几何参数，单象素的面积为52×52 平方微米。制作了4×4，2×16，16×16GMLM阵列测试样品；从理论上分析了采用该方法可以测量器件电压与位移的关系、吸合电压、固有频率和残余应力，以及基于MEMS的衍射型/干涉型器件的微间距等。对GMLM测试样品进行了光学衍射实验和光学信号处理实验，与理论模型曲线相符合，验证了理论模型的正确性。从而将理论、仿真与实验统一起来，实现了光栅光调制器的理论分析和实际加工。