中文摘要：

随着微纳光子学的发展，基于表面等离子体、光子晶体与集成光子学的大量纳米尺度的新颖器件不断出现，而传统的光刻技术无法突破衍射极限的限制，难以满足加工新型器件的需要。基于申请者在纳米光刻加工技术与依托方在纳米结构与器件设计方面的丰富研究经验，合作双方拟在本项目中就微纳加工技术及微纳光子器件领域开展联合研究。 本项目将重点研发基于表面等离子体纳米光刻技术，把光刻精细度缩小到亚波长范围，实验制备各种介质/金属微纳结构，研究其微纳光子天线、负折射等异常光学特性。通过双方合作研究，希望能够进一步推动国内纳米加工制造技术的研究和发展，促进微纳光子学研究跻身世界领先行列。

结论摘要：

微纳结构在物理、生物、医学等多个自然科学领域中都有重要的应用价值，如何实现大面积复杂三维微纳结构的高自由度快速加工是近年来国际研究热点和难点之一。 几种传统的微纳加工技术由于内在因素的限制，始终无法解决样品加工时间过长、加工面积较小、三维结构加工自由度低等困难，因而制约了当前微纳结构相关研究进一步发展。 本项目研究开发了一种基于数字微透镜阵列的动态光学投影立体光刻技术，该技术通过数字微透镜阵列和投影系统将所设计三维模型分层在光敏物质上曝光的方法，实现了大面积复杂三维微纳结构的快速制备。 该技术很好地解决了上述传统微纳加工技术在三维微纳结构制备中的问题，对今后微纳结构相关的研究和应用领域具有重要的价值。