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中文摘要：
三年来，课题组按照基金申请书计划的研究内容如期开展，系统地研究了光学基底亚表面缺陷的表征、控制及其对激光薄膜性能的影响。首先利用化学刻蚀、磁流变抛光及高温烘烤结合光学显微镜、原子力显微镜等表面观测仪器对基底亚表面缺陷进行了系统表征，形成了一套综合表征方法。其次，通过实验分析了熔石英亚表面缺陷对光学加工工艺的依赖关系，并提出一套去除亚表面缺陷的光学加工方案，取得了较好的抑制效果；并结合熔石英激光损伤特性分析，建立了诱导激光损伤的亚表面缺陷结构模型。然后探讨了激光预处理、HF蚀刻、强酸沥滤及高温退火等后处理技术对亚表面缺陷的抑制作用，并取得了较好的实验结果。最后深入研究了基底亚表面缺陷对各类激光薄膜抗激光损伤能力的影响，建立了亚表面缺陷诱导激光薄膜损伤的物理模型。
结论摘要：
英文主题词subsurface defects, laser coatings, laser damage mechanism, characterization methods, control technique
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Influence of subsurface defects on 355nm laser damage resistance of monolayer and multilayer coating
Coupling effect of multi-wavelength lasers in damage performance of multilayer mirrors at 355 nm and
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