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基于同步辐射光刻的大深宽比微结构滚压印技术研究
  • 项目名称:基于同步辐射光刻的大深宽比微结构滚压印技术研究
  • 项目类别:青年科学基金项目
  • 批准号:50905173
  • 申请代码:E051203
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2010-01-01-2012-12-31
  • 项目负责人:李木军
  • 负责人职称:副教授
  • 依托单位:中国科学技术大学
  • 批准年度:2009
中文摘要:

滚压印技术不但具有平面压印工艺分辨率高、成本低的优点,而且克服了其只能间隙生产的不足,具有可连续复制,产率更高的特点,从而具有广阔的应用前景。对滚压印技术的研究在国外也才刚刚起步,但已经处于技术保密状态。滚压模是滚压印系统的关键部件,兼具Meso/Micro结构特征,其加工手段涉及微米及中间尺度的很多加工技术。本项目旨在研究如何利用同步辐射光刻与超精密加工结合,在滚压模圆柱面上制作出高精度、大深宽比的微结构,并应用到滚压印工艺中。拟重点研究1)平面掩模图形向圆柱形基体进行图形复制技术的研究。2)对同步辐射光刻机理作理论分析和数值仿真,研究大深宽比高精度微结构尺寸和形状误差的影响因素及控制方法。3)提出误差矫正算法,探讨在掩模设计阶段优化设计微结构的方法。4)结合金刚石超精密车铣切削,开展与同步辐射光刻相结合的复合工艺的可行性研究。本研究将为在国内开展滚压印技术的研究打下坚实的基础。

结论摘要:

滚动压印技术将微结构制作在压辊上作为模具,通过压辊的转动将模具上的图形持续不断的复制到较大的基底上,具有高效、低成本、规模化等优势和特点,具有广泛应用前景。本项目围绕滚压印的相关关键技术,在压辊压模的研制,滚压技术的实现,工艺参数优化,压印过程的建模与数值仿真等方面进行了深入的研究。解决了滚压印技术中的一系列关键问题,在压辊压模的制作,光刻理论模型的建立,压印填充过程的仿真等方面取得了一定的成果。完成了滚动压印装置的研制,实现了大面积连续滚压进行微结构复制,并对滚动压印结果进行评估,根据结果进行了工艺的优化改进。上述结果表明我们已经基本掌握滚动压印的各个技术细节,滚动压印作为技术手段,为我们今后开展相关微纳器件的应用研究打下了坚实的基础。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 5
  • 1
  • 0
  • 0
  • 0
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