位置：立项数据库 > 立项详情页
深亚微米光刻新型光源材料的研究及其应用
  • 项目名称：深亚微米光刻新型光源材料的研究及其应用
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：50132010
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：沈徳忠
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：2001
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
实用化全固态266 nm激光器的研究
不同电极形式对掺镧钛酸铅铁电薄膜的介电性能的影响
沈徳忠的项目