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A Novel MOEMs MicroDisplacement Sensor Based On Waveguide Mirco Ring
  • 所属机构名称:中北大学
  • 会议名称:2nd International Conference on Information and Multimedia Technology
  • 成果类型:会议
  • 会场:Hong Kong
  • 相关项目:基于高Q值环形微腔介观力-光耦合效应的芯片级高灵敏度传感器研究
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