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星载高灵敏度MOEMS 加速度计设计
  • 所属机构名称:中北大学
  • 会议名称:中国宇航学会深空探测技术专业委员会第五届年会
  • 成果类型:会议
  • 会场:长沙
  • 相关项目:基于高Q值环形微腔介观力-光耦合效应的芯片级高灵敏度传感器研究
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