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超深亚微米集成电路Cu互连用扩散阻挡层的研究
  • 所属机构名称：四川大学
  • 会议名称：2009年四川省核学会核物理与加速器专业委员会与四川省核学会核聚变与低温等离子体应用专业委员会学术交流会，2009年8月，四川西昌。国内，邀请报告。
  • 成果类型：会议
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