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基于统计学习模型的金属Cu互连体系扩散阻挡层性能的表征
  • 项目名称：基于统计学习模型的金属Cu互连体系扩散阻挡层性能的表征
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50771069
  • 申请代码：E0110
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2008-01-01-2010-12-31
  • 项目负责人：汪渊
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：四川大学
  • 批准年度：2007
中文摘要：

尽管集成电路Cu互连用扩散阻挡层材料的研究是目前微电子领域研究的热点问题，但大量的研究多自成体系，研究结果无实际对比意义。本项目突破了以往研究中片面强调某类因素的狭窄思路，注重对薄膜体系经历工艺过程的详细分析，以及对扩散阻挡层性能评价研究的综合性和客观量化性。研究方式上注重学科交叉融合，将统计学习理论的一些新进展应用薄膜体系表征评价的研究中，利用支撑向量机分类器模式分离的优势，并结合项目组以往的研究积累，筛选表征参量的可信度，构建基于支撑向量机的扩散阻挡层薄膜材料性能评价与预测的计算模型。通过探讨可信参量对阻挡层失效的影响方式及权重百分比，揭示导致阻挡层失效的真正主控因素及其行为规律。并利用建立的计算模型尽可能准确地预测不同膜基体系失效的可能性。研究方法及结果具有可资借鉴的科学意义及工业应用推广价值。

中文主题词： 扩散阻挡层；统计学习；参量筛选；模式分离；失效
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 18
  • 14
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
Microstructure and Mechanical Properties of Nanocrystalline Tungsten Thin Films
The self-formation graded diffusion barrier of Zr/ZrN
Microstructure formation mechanism and compression plasticity of regularly faceted Cu particles
Ultrathin CuSiN/p-SiC:H bilayer capping barrier for Cu/ultralow-k dielectric integration
Homologous temperature dependence of global surface scaling behaviors of polycrystalline copper film
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体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射
Behavior of Ti0.5Al0.5N thin film in nanoscale deformation with different loading rates
Design and fabrication of ultrathin and highly thermal-stable α-Ta/graded Ta(N)/TaN multilayer as di
纳米晶钨膜的沉积工艺研究及微结构表征
氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响
AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性
梯度α-Ta(N)/TaN双层阻挡层的制备及性能表征
梯度α-Ta（N）／TaN扩散阻挡层的微结构与热稳性定
常温低氮氩比下（002）择优取向氮化铝薄膜的制备
Cu/Sn比率对Cu_2SnSe_3薄膜若干物理性质的影响
纳米晶Li4Ti5O12薄膜射频磁控溅射合成与表征
会议论文
超深亚微米集成电路Cu互连用扩散阻挡层的研究
Improvement of Thermal Stability of Cu/Cu(Zr)/p-SiOC:H Film Stack Using an Ultra-thin Zr(Ge) Alloy F
反应溅射TaN膜的表面形貌演化
环丙烷掺杂多孔掺碳氧化硅薄膜结构及热稳定性
超深亚微米集成电路Cu互连用扩散阻挡层的研究
Improvement of Thermal Stability of Cu/Cu(Zr)/p-SiOC:H Film Stack Using an Ultra-thin Zr(Ge) Alloy F
Improvement of Interfacial Adhesion Strength and Thermal Stability of Cu/cap barrier/low-k Dielectri
等离子体表面改性提高Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系界面结合强度和热稳定性研究
反应溅射TaN膜的表面形貌演化
环丙烷掺杂多孔掺碳氧化硅薄膜结构及热稳定性
α-Ta/梯度Ta(N)/TaN多层膜的设计及制备
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