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环丙烷掺杂多孔掺碳氧化硅薄膜结构及热稳定性
  • 所属机构名称:四川大学
  • 会议名称:四川省核学会第六届青年科技工作者学术交流会,2009年10月,四川成都,国内,口头报告
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于统计学习模型的金属Cu互连体系扩散阻挡层性能的表征
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