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中频脉冲磁控溅射制备CrC/a-C:H结构及性能的影响
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：TFC’15全国薄膜技术学术研讨会
  • 时间：2015.8.21
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：空心阴极放电自诱导电子加速效应及深熔焊接研究
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