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离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议
  • 时间：2015.8.25
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：空心阴极放电自诱导电子加速效应及深熔焊接研究
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