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大会报告 PVD硬质薄膜的膜层质量与稳定性控制因素：工件偏压
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：广东省真空学会第五届会员代表大会暨2014 年学术年会
  • 时间：2014.12.4
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：空心阴极放电自诱导电子加速效应及深熔焊接研究
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