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如何从电源控制上提高PVD镀层质量和工艺窗口
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：真空学会五届二次会员代表大会2015学术年会
  • 时间：2015.11.14
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：空心阴极放电自诱导电子加速效应及深熔焊接研究
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