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《矩形射频ICP离子束源天线设计
  • 所属机构名称：核工业西南物理研究院
  • 会议名称：2005年8月东华大学第十二届全国等离子体科学技术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
作者： 苏志伟、陈庆川
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