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大面积均匀微波等离子体源及其在
  • 所属机构名称：核工业西南物理研究院
  • 会议名称：2004年全国荷电粒子源、粒子束学术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
作者： 陈庆川、曾旭初、许择金
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