位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
ECR微波等离子体增强沉积技术制
  • 所属机构名称：核工业西南物理研究院
  • 会议名称：2004年全国荷电粒子源、粒子束学术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
作者： 陈庆川、王珂、许择金
同会议论文项目
离子刻蚀用大面积矩形射频离子束源及刻蚀工艺的关键技术研究
期刊论文 4 会议论文 4
同项目会议论文
《K9玻璃的离子束抛光》
大面积均匀微波等离子体源及其在
《矩形射频ICP离子束源天线设计