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On The Thermal Excited Resonant Silicon Micro Structural Pressure Sensor
  • 所属机构名称：北京航空航天大学
  • 会议名称：The Proceedings of the International Symposium on Pressure and Vacuum
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：北京航空航天大学
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
作者： 樊尚春|
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