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基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统
  • 所属机构名称：北京航空航天大学
  • 会议名称：2003年第八届全国敏感元件与传感器学术会议
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：北京航空航天大学
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
作者： 蔡晨光|樊尚春|
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谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
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