位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
基于矩形膜片的硅微谐振式压力传感器敏感结构研究
  • 所属机构名称：北京航空航天大学
  • 会议名称：2003年第八届全国敏感元件与传感器学术会议
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：北京航空航天大学
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
作者： 樊尚春|王晓晶|
同会议论文项目
谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
期刊论文 10 会议论文 8
同项目会议论文
The Design of a Novel Openloop Characteristics Test System of Resonant Silicon Microsensor
Frequency Characteristics Testing of Micromachined Resonant Pressure Sensor
The Frequency Characteristics Of The Beam Resonator Of The Thermal Excited Silicon Resonant Pressure
On The Thermal Excited Resonant Silicon Micro Structural Pressure Sensor
Techniques and Applications of Resonator Sensors
基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统
谐振式硅微传感器的加工工艺研究