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连续加料法生长450mm大尺寸单晶硅内部热应力场的模拟研究
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:第十七届全国晶体生长与材料学术会议(CCCG-17)
  • 时间:2015.8
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:多晶硅铸锭定向凝固过程中的氧碳杂质耦合输运机理及控制
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