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MOCVD生长GaN输运-反应动力学分析及其数值模拟
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:中国工程热物理学会2013年传热传质会议
  • 时间:2013.10.25
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:多晶硅铸锭定向凝固过程中的氧碳杂质耦合输运机理及控制
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