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晶体转向对CZ法生长单晶硅凝固界面的影响
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:2014年中国工程热物理学会传热传质年会
  • 时间:2014.11.3
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:多晶硅铸锭定向凝固过程中的氧碳杂质耦合输运机理及控制
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