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Layout Decomposition with Pairwise Coloring for Multiple Patterning Lithography
  • 所属机构名称:复旦大学
  • 会议名称:IEEE/ACM International Conference on Computer Aided Design
  • 时间:2013.11.10
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:纳米尺度超大规模集成电路分析和优化设计研究
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