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Layout Decomposition with Pairwise Coloring for Multiple Patterning Lithography
所属机构名称:复旦大学
会议名称:IEEE/ACM International Conference on Computer Aided Design
时间:2013.11.10
成果类型:会议
相关项目:纳米尺度超大规模集成电路分析和优化设计研究
作者:
Ye Zhang|Wai-Shing Luk|Hai Zhou|Changhao Yan|Xuan Zeng|
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