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溶胶-凝胶法制备SiO2-TiO2平板光波导工艺研究
  • ISSN号:1002-2082
  • 期刊名称:《应用光学》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.055[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]华中科技大学,激光加工国家工程研究中心,武汉光电国家实验室,激光部,武汉,430074 华中科技大学,激光加工国家工程研究中心,武汉光电国家实验室,激光部,武汉,430074
  • 相关基金:国家863高新技术资助项目(2005AA311030);国家自然科学基金资助项目(50575086)
中文摘要:

传统上厚膜电容的制备由于采用了丝网技术、烧结工艺、有限的匹配温度特性材料,使得要实现高容量、低损耗、高频性就必须同时改变材料的成分、制备工艺和技术, 这是无法同时达到的.而采用激光微细熔覆快速原型制造技术,不需要高温烧结和掩模的制备,在不改变电极膜特性的情况下直接制备了适应高容量、低损耗和高频应用的介质膜.同时,消除了原有技术通过多次印刷和增加厚度来减少针孔的弊端,以及高温烧结带来的电极材料和介质材料成分的扩散,利用CAD/CAM系统可灵活地制备所设计的图形和尺寸,实现了元件小型化、轻薄化的制造.

英文摘要:

Traditionally, thick-film capacitor is fabricated by screen printing, high-temperature sintering and limited matched temperature characteristic materials. Composition of materials, processing and technologies must be changed all together to get high capacitance, low dissipation and high frequency, but there is no method to realize. In this paper, a technique of laser micro-cladding and rapid prototype was applied. In this technique, there are no mask and high-temperature sintering process, the dielectric film can directly be fabricated to apply for high capacitance, low dissipation and high frequency when electrode materials are changed. At the same time, it eliminates shortcomings of conventional technologies such as decreasing pores by printing many times and increasing thickness, and composition diffusion between electrode materials and dielectric materials by high-temperature sintering. Computer aided design and computer aided manufacture (CAD/CAM) system is applied to flexibly design patterns and sizes so that the fabrication of the miniaturized and lightweight components is realized.

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期刊信息
  • 《应用光学》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国兵器工业集团公司
  • 主办单位:中国兵工学会 中国兵器工业第二零五研究所
  • 主编:纪明
  • 地址:西安市电子城电子三路西段9号
  • 邮编:710065
  • 邮箱:yygx205@163.com
  • 电话:029-88288172
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-2082
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1171/O4
  • 邮发代号:52-245
  • 获奖情况:
  • 中国科学引文数据库来源期刊,中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:7309