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The study of the substrate temperature depended growth properties of microcrystalline silicon films
  • ISSN号：0169-4332
  • 期刊名称：Applied Surface Science
  • 时间：2013.4.4
  • 页码：737-740
  • 相关项目：甚高频高速沉积微晶硅薄膜生长特性的研究
作者： Chen, Yongsheng|Chen, Xiping|Hao, Xiuli|Lu, Jingxiao|Yang, Shi-e|
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