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Modeling and experiments of microcrystalline silicon film deposited via VHF-PECVD
  • ISSN号：0038-092X
  • 期刊名称：Solar Energy
  • 时间：2013.8.8
  • 页码：155-161
  • 相关项目：甚高频高速沉积微晶硅薄膜生长特性的研究
作者： Chen, Yongsheng|Chen, Xiping|Jiao, Yuechao|Hao, Xiuli|Lu, Jingxiao|Yang, Shi-e|
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期刊论文 14
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