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Preparation of a high-quality PZT thick film with performance comparable to those of bulk materials
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：0
  • 页码：147-150
  • 语言：英文
  • 相关项目：基于并行探针驱动的无掩模扫描等离子体加工技术的研究
作者： Chu, Jia-Ru|Xu, Xiao-Hui|
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