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Integration of displacement sensor into bulk PZT thick film actuator for MEMS deformable mirror
  • ISSN号：0924-4247
  • 期刊名称：Sensors and Actuators A-Physical
  • 时间：0
  • 页码：242-247
  • 语言：英文
  • 相关项目：基于并行探针驱动的无掩模扫描等离子体加工技术的研究
作者： Chu, Jia-Ru|Xu, Xiao-Hui|Li, Bao-Qing|Feng, Yan|
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