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Mechanical characterization of SU-8 thin films through varying effective aspect ratios for microelec
  • ISSN号：1932-5150
  • 期刊名称：Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
  • 时间：2012.6
  • 页码：1-10
  • 相关项目：基于机构输出谐波特征参数进行空间连杆机构尺度综合的研究
作者： Gao, Jiali|Guan, Le|Zhang, Guoqing|Liu, Ze|
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