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Simple process for 60 nm patterned nickel stamp replication
  • ISSN号:1750-0443
  • 期刊名称:Micro & Nano Letters
  • 时间:2013.1
  • 页码:5-7
  • 相关项目:基于机构输出谐波特征参数进行空间连杆机构尺度综合的研究
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