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Microgripping force measuring device based on SU-8 microcantilever sensor
  • ISSN号：1932-5150
  • 期刊名称：Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
  • 时间：2014.3
  • 页码：-
  • 相关项目：基于机构输出谐波特征参数进行空间连杆机构尺度综合的研究
作者： Chu, Jinkui|Guan, Le|Li, Shuangliang|Min, Jian|
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