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基于TiN涂层/玻璃基体的热压印模
  • 期刊名称：功能材料与器件学报
  • 时间：0
  • 相关项目：基于STM光刻技术的硬质涂层纳米压印模板的加工研究
作者： 周志涛，王海容，蒋庄徳，刘冲
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