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中文摘要：
采用多弧离子镀技术，用Ti—Al—zr合金靶和Cr靶，在W18Cr4V高速钢基体上沉积了（Ti，Al，Zr，Cr）N多元膜，并进行了600℃，700℃，800℃和900℃短时（4h）高温氧化实验及700℃和800℃长期（100h）高温循环氧化实验。用扫描电镜（SEM）、能谱（EDS）和X射线衍射（XRD）观察和分析样品表面氧化膜。结果表明，这种多元膜在短时（4h）高温氧化条件下，800℃时仍具有良好的抗高温氧化性，XRD显示氧化膜主要为TiO2；在长期（100h）高温氧化条件下，该多元膜的抗高温氧化温度大约为700℃左右。
英文摘要：
Using Ti-Al-Zr target and pure Cr target, the multi-component nitride films, （Ti, Al, Zr, Cr） N, were deposited on the substrates of high speed steel （W18Cr4V） by multi-arc ion plating technique. The high temperature oxidation of the film was carried out in the case of both the short-time （600℃, 700 ℃, 800℃ and 900℃ for 4 h） and long-time （700 ℃ and 800 ℃ for 100 h） tests. All of the specimens were characterized by scanning electron microscopy （SEM）, energy dispersion X-ray spectroscopy （EDS） and X-ray diffraction （XRD）. It was shown that the high temperature oxidation resistance of the film was up to 800 ℃ in case of short-time oxidation, and TiO2 formed on the （Ti, Al, Zr, Cr） N film; while oxidation resistance of the film was up to 700 in case of long-time oxidation.
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