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聚焦离子束在多种半导体材料上研
  • 期刊名称：物理学报（已接收）
  • 时间：0
  • 相关项目：二维光子晶体及器件的微加工与特性研究
作者： 许兴胜，熊志刚，金爱子，陈弘达
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