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光子晶体垂直腔型表面发射和接收光电子器件
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：《半导体学报：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN248.4[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：北京航空航天大学理学院,北京,100083, 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083 北京航空航天大学理学院,北京,100083 中国科学院半导体研究所,光电子研发中心,北京,100083
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(批准号:60345008,60377011,60537010)
作者： 宋倩, 许兴胜, 胡海洋, 鲁琳, 王春霞, 杜伟, 刘发民, 陈弘达
关键词： 光子晶体, 垂直腔面发射激光器, 光子面阵集成, 谐振腔增强型光电探测器
中文摘要：

介绍了制作光子晶体垂直腔面发射激光器实验研究的主要内容,包括材料的光谱测试分析、氧化工艺以及制作光子晶体等,成功制作了波长在980nm附近的光子晶体垂直腔面发射激光器.在此基础上,采用高精度湿法腐蚀和感应耦合等离子体干法刻蚀技术,研究制作了基于垂直腔面发射激光器外延材料的光子晶体谐振腔增强型探测器.

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期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754